Beim Teilprozess Spülen geht es darum, die Rückstände der Verunreinigung und des Reinigers so lange zu verdünnen, bis die Teileoberfläche die geforderten Sauberkeitskriterien erfüllt.

Im einfachen Fall soll die Oberfläche fleckenfrei sein. Bei hohen Sauberkeitsanforderungen sind Kriterien in der Partikelgrösse, Oberflächenspannung, filmische Grenzwerte für organische (TOC) und anorganische (THC) Verunreinigungen, Bioburden, Endotoxine etc.

Für den Spülprozess sind dieselben Quadranten des Sinnerschen Kreises zu beachten:

• Zeit, d.h. nur kurz schwenken ist meist nicht ausreichend. In der Regel dauert jeder Spülschritt gleich lang wie der Reinigungsschritt
• Temperatur, d.h. nur Raumtemperatur ist zu kalt. In der Regel ist die Spültemperatur gleich hoch oder etwas tiefer als die Reinigungstemperatur.
• Mechanik, d.h. Techniken wie Ultraschall Ein-/ Austauchen, Spritzen, Druckumfluten erhöhen die Spülwirkung
• Chemie, in diesem Fall das Spülmedium, in der Regel Wasser, dessen Sauberkeitsmerkmale in jedem folgenden Spülschritt besser sind. Vorsicht ist bei korrodierenden Bauteilen angebracht. Ggf. muss ein Korrosionsschutz dem Spülmedium beigefügt werden.